د اوبو د جټ پالش کولو ټیکنالوژۍ کې د موادو لرې کولو اصلي برخه د کثافاتو کارول دي. د هغې شکل، اندازه، ډول او نور پیرامیټرونه د پروسس شوي کاري ټوټې د پروسس موثریت او سطحې کیفیت باندې مستقیم اغیزه لري. د کثافاتو ډولونه چې معمولا اوس مهال کارول کیږي عبارت دي له: SiC، Al2O3، CeO2، ګارنټ، او نور. په عمومي ډول، د کثافاتو دانو سختوالی څومره زیات وي، د موادو لرې کولو کچه او د سطحې ناهموارۍ ښه کیدی شي.
سربیره پردې، لاندې عوامل هم شتون لري چې د پالش کولو کیفیت اغیزه کوي:
① ګردوالی: د کثافاتو ذراتو ګردوالی په پروسس کولو اغیزه. پایلې ښیي چې څومره چې کثافات ګردوالی زیات وي، د وتلو سرعت یې همدومره لوړ وي، د موادو د لرې کولو کچه یې همدومره لوړه وي، او د نوزل اغوستل همدومره کم وي.
② یووالي: د جیټ لرې کولو ځانګړتیاو باندې د ذراتو د اندازې یووالي اغیزه. پایلې ښیې چې د مختلفو ذراتو اندازو ذراتو د اغیزې لرې کولو کچه ویش ورته دی، مګر د اغیزې لرې کولو کچه د ذراتو د اندازې زیاتوالي سره کمیږي.
③ د ذراتو اندازه: د موادو په لرې کولو باندې د کثافاتو ذراتو د اندازې اغیزه. کله چې د کثافاتو اندازه زیاته شي، د لرې شوي موادو کراس سیکشن د W شکل څخه U شکل ته بدلیږي. د تجربوي تحلیل له لارې، دا پایله کیږي چې د ذراتو ترمنځ ټکر د موادو د لرې کولو اصلي لامل دی، او د نانو پیمانه ذراتو پالش شوي سطحې د اتوم په واسطه اتوم لرې کیږي.